Lefaucheux, P : rechercher sur Z-Library

Le plus grand référentiel d'articles scientifiques au monde. 70,000,000+ d'articles gratuitement.

Campagne de collecte 15 septembre 2024 – 1 octobre 2024

Z-Library est une des plus grandes bibliothèques en ligne dans le monde, avec le stockage de plus de 17,000,000 livres et plus de 84,837,000 articles. Nous encourageons l'accès libre de chacun à la littérature. Aujourd'hui (15 septembre 2024) nous faisons un appel de fonds à tous ceux qui veulent contribuer encore plus au soutien et au développement de notre projet.

Les téléchargements SANS LIMITE sont aussi (au cours de 31 jours après la date de don) disponibles pour TOUS les utilisateurs qui soient en mesure de soutenir le projet pendant la période de collecte de fonds jusqu'au 1 octobre 2024.

C'est quoi, la collecte de fonds?En savoir plus

Faire un don

Livres
Articles (100)
Les plus populaires
Liste
- Liste
- Tableau

Origin, control and elimination of undercut in silicon deep plasma etching in the cryogenic process

M. Boufnichel, P. Lefaucheux, S. Aachboun, R. Dussart, P. Ranson

Journal:

Microelectronic Engineering

Année:

2005

Langue:

english

Fichier:

PDF, 469 KB

english, 2005

Comment intégrer la prévention des risques professionnels dans une action de promotion de la santé au travail

Bigot, V., Vespérini, D., Lefaucheux, C., Villevalois, P., Pasquet, C., Albouy, J., Cosme, C.

Journal:

Archives des Maladies Professionnelles et de l'Environnement

Année:

2012

Langue:

french

Fichier:

PDF, 172 KB

french, 2012

Crystal growth in gels: Principle and applications

M.C. Robert, F. Lefaucheux

Journal:

Journal of Crystal Growth

Année:

1988

Langue:

english

Fichier:

PDF, 885 KB

english, 1988

Passivation mechanisms in cryogenic SF 6 /O 2 etching process

Dussart, R, Boufnichel, M, Marcos, G, Lefaucheux, P, Basillais, A, Benoit, R, Tillocher, T, Mellhaoui, X, Estrade-Szwarckopf, H, Ranson, P

Journal:

Journal of Micromechanics and Microengineering

Année:

2004

Langue:

english

Fichier:

PDF, 715 KB

english, 2004

Direct Current microhollow cathode discharges on silicon devices operating in argon and helium

Michaud, Ronan, Felix, Valentin, Stolz, Arnaud, Aubry, Olivier, Lefaucheux, Philippe, Dzikowski, Sebastian, Schulz-von der Gathen, Volker, Overzet, Lawrence J, Dussart, Remi

Journal:

Plasma Sources Science and Technology

Année:

2018

Langue:

english

Fichier:

PDF, 1.21 MB

english, 2018

Damage-free plasma etching of porous organo-silicate low-k using micro-capillary condensation above −50 °C

Chanson, R., Zhang, L., Naumov, S., Mankelevich, Yu. A., Tillocher, T., Lefaucheux, P., Dussart, R., Gendt, S. De, Marneffe, J.-F. de

Journal:

Scientific Reports

Année:

2018

Langue:

english

Fichier:

PDF, 2.17 MB

english, 2018

Nucleation and growth of some solution-grown crystals in gel media: Visualization by interferometric holography

F. Lefaucheux, M. C. Robert, Y. Bernard, S. Gits

Journal:

Crystal Research and Technology

Année:

1984

Langue:

english

Fichier:

PDF, 1.10 MB

english, 1984

X-ray characterization of gel grown CaHPO4·2 H2O and PbHPO4 crystals

F. Lefaucheux, M.C. Robert, E. Manghi, H. Arend

Journal:

Journal of Crystal Growth

Année:

1981

Langue:

english

Fichier:

PDF, 583 KB

english, 1981

Cryogenic etching of n-type silicon with p+ doped walls with the TGZM process through the Al/Si eutectic alloy

E.H. Oubensaid, C.Y. Duluard, L.E. Pichon, B. Morillon, M. Boufnichel, P. Lefaucheux, R. Dussart, P. Ranson

Journal:

Microelectronic Engineering

Année:

2009

Langue:

english

Fichier:

PDF, 819 KB

english, 2009

SiO[sub x]F[sub y] passivation layer in silicon cryoetching

Mellhaoui, X., Dussart, R., Tillocher, T., Lefaucheux, P., Ranson, P., Boufnichel, M., Overzet, L. J.

Journal:

Journal of Applied Physics

Année:

2005

Langue:

english

Fichier:

PDF, 1.51 MB

english, 2005

Two Cryogenic Processes Involving SF[sub 6], O[sub 2], and SiF[sub 4] for Silicon Deep Etching

Tillocher, T., Dussart, R., Overzet, L. J., Mellhaoui, X., Lefaucheux, P., Boufnichel, M., Ranson, P.

Journal:

Journal of The Electrochemical Society

Année:

2008

Langue:

english

Fichier:

PDF, 540 KB

english, 2008

Improvement of GaN Deep Etched Surface State by Fluorination Dedicated to Power Devices

Gosset, N., Ladroue, J., Tillocher, T., Lefaucheux, P., Boufnichel, M., Dussart, R.

Journal:

ECS Transactions

Année:

2014

Langue:

english

Fichier:

PDF, 14.17 MB

english, 2014

Ignition and extinction phenomena in helium micro hollow cathode discharges

Kulsreshath, M. K., Sadeghi, N., Schwaederle, L., Dufour, T., Overzet, L. J., Lefaucheux, P., Dussart, R.

Journal:

Journal of Applied Physics

Année:

2013

Langue:

english

Fichier:

PDF, 12.46 MB

english, 2013

Optimization of submicron deep trench profiles with the STiGer cryoetching process: reduction of defects

Tillocher, T, Kafrouni, W, Ladroue, J, Lefaucheux, P, Boufnichel, M, Ranson, P, Dussart, R

Journal:

Journal of Micromechanics and Microengineering

Année:

2011

Langue:

english

Fichier:

PDF, 1.61 MB

english, 2011

Profile control of high aspect ratio trenches of silicon. I. Effect of process parameters on local bowing

M. Boufnichel, S. Aachboun, F. Grangeon, P. Lefaucheux, P. Ranson

Journal:

Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures

Année:

2002

Langue:

english

Fichier:

PDF, 452 KB

english, 2002

Polymer masks for structured surface and plasma etching

Vital, Alexane, Vayer, Marylène, Sinturel, Christophe, Tillocher, Thomas, Lefaucheux, Philippe, Dussart, Rémi

Journal:

Applied Surface Science

Année:

2015

Langue:

english

Fichier:

PDF, 2.44 MB

english, 2015

Low Damage Cryogenic Etching of Porous Organosilicate Low-k Materials Using SF6/O2/SiF4

Zhang, L., Ljazouli, R., Lefaucheux, P., Tillocher, T., Dussart, R., Mankelevich, Y. A., de Marneffe, J.-F., de Gendt, S., Baklanov, M. R.

Journal:

ECS Journal of Solid State Science and Technology

Année:

2013

Langue:

english

Fichier:

PDF, 1.77 MB

english, 2013

A novel amorphization–etch alternating process for Si(1 0 0)

Mekkakia-Maaza, N, Dussart, R, Tillocher, T, Lefaucheux, P, Ranson, P

Journal:

Journal of Micromechanics and Microengineering

Année:

2013

Langue:

english

Fichier:

PDF, 738 KB

english, 2013

Alternating SiCl 4 /O 2 passivation steps with SF 6 etch steps for silicon deep etching

Duluard, C Y, Ranson, P, Pichon, L E, Pereira, J, Oubensaid, E H, Lefaucheux, P, Puech, M, Dussart, R

Journal:

Journal of Micromechanics and Microengineering

Année:

2011

Fichier:

PDF, 177 KB

2011

[IEEE 2016 13th International Workshop on Discrete Event Systems (WODES) - Xi'an, China (2016.5.30-2016.6.1)] 2016 13th International Workshop on Discrete Event Systems (WODES) - Diagnosability of repairable faults

Fabre, Eric, Helouet, Loic, Lefaucheux, Engel, Marchand, Herve

Année:

2016

Langue:

english

Fichier:

PDF, 201 KB

english, 2016

Submicronic etched features of silicon with high aspect ratio obtained by cryogenic plasma deep-etching through perforated polymer thin films

Vital, A., Boufnichel, M., Dussart, R., Gosset, N., Lefaucheux, P., Sinturel, C., Tillocher, T., Vayer, M.

Journal:

MRS Proceedings

Année:

2015

Langue:

english

Fichier:

PDF, 148.17 MB

english, 2015

Diagnosability of repairable faults

Fabre, Eric, Hélouët, Loïc, Lefaucheux, Engel, Marchand, Hervé

Journal:

Discrete Event Dynamic Systems

Année:

2017

Langue:

english

Fichier:

PDF, 1.73 MB

english, 2017

High aspect ratio etched sub-micron structures in silicon obtained by cryogenic plasma deep-etching through perforated polymer thin films

Kulsreshath, M., Vital, A., Lefaucheux, P., Sinturel, C., Tillocher, T., Vayer, M., Boufnichel, M., Dussart, R.

Journal:

Micro and Nano Engineering

Année:

2018

Langue:

english

Fichier:

PDF, 3.73 MB

english, 2018

Cryo atomic layer etching of SiO 2 by C 4 F 8 physisorption followed by Ar plasma

Antoun, G., Lefaucheux, P., Tillocher, T., Dussart, R., Yamazaki, K., Yatsuda, K., Faguet, J., Maekawa, K.

Journal:

Applied Physics Letters

Année:

2019

Langue:

english

Fichier:

PDF, 1.33 MB

english, 2019

X-Ray Characterization of Guanidine Aluminium Sulfate Hexahydrate Crystals in Relation to their Ferroelectric Properties

M. C. Robert, F. Lefaucheux, R. Le Bihan, N. Rafii

Journal:

Crystal Research and Technology

Année:

1991

Langue:

english

Fichier:

PDF, 597 KB

english, 1991

Twin structure of Sodium Hydrogen Oxalate Monohydrate

L. J. Komunjer, F. Lefaucheux

Journal:

Crystal Research and Technology

Année:

1995

Langue:

english

Fichier:

PDF, 446 KB

english, 1995

Observations de dislocations dans des calcites synthétiques

F Lefaucheux

Journal:

Journal of Crystal Growth

Année:

1972

Fichier:

PDF, 666 KB

1972

Étude par topographies aux rayons x de monocristaux de salol obtenus par évaporation

F. Lefaucheux

Journal:

Journal of Crystal Growth

Année:

1972

Langue:

french

Fichier:

PDF, 271 KB

french, 1972

Étude des défauts créés lors de perturbations extérieures imposées au cours de la croissance hydrothermale de calcite

F. Lefaucheux, M.C. Robert, A. Authier

Journal:

Journal of Crystal Growth

Année:

1973

Langue:

french

Fichier:

PDF, 1.30 MB

french, 1973

Defects revealing the two growth processes for a face case of hydrothermal synthetic calcite

F. Lefaucheux, M.C. Robert

Journal:

Journal of Crystal Growth

Année:

1977

Langue:

english

Fichier:

PDF, 2.37 MB

english, 1977

Effect of stirring on crystalline quality of solution grown crystals — Case of potash alum

S. Gits-Leon, F. Lefaucheux, M.C. Robert

Journal:

Journal of Crystal Growth

Année:

1978

Langue:

english

Fichier:

PDF, 2.35 MB

english, 1978

X-ray topographic study of growth defects in hydrothermal Na2CoGeO4 single crystals in relation to their growth conditions

L.N. Demianets, N.G. Duderov, A.N. Lobachev, F. Lefaucheux, M.C. Robert, A. Authier

Journal:

Journal of Crystal Growth

Année:

1978

Langue:

english

Fichier:

PDF, 1.98 MB

english, 1978

Crystal quality of gel grown CaHPO4, 2H2O crystals

F. Lefaucheux, M.C. Robert, H. Arend

Journal:

Journal of Crystal Growth

Année:

1979

Langue:

english

Fichier:

PDF, 200 KB

english, 1979

Effect of the addition of polyethylene oxide traces on defect distribution in solution grown potash alum crystals

F. Lefaucheux, M.C. Robert, C. Deslouis

Journal:

Journal of Crystal Growth

Année:

1981

Langue:

english

Fichier:

PDF, 401 KB

english, 1981

A comparison between gel grown and solution grown crystals — case of ADP and KDP

F. Lefaucheux, M.C. Robert, E. Manghi

Journal:

Journal of Crystal Growth

Année:

1982

Langue:

english

Fichier:

PDF, 1.02 MB

english, 1982

Topographic studies of growth defects using synchrotron radiation

M.C. Robert, F. Lefaucheux

Journal:

Journal of Crystal Growth

Année:

1983

Langue:

english

Fichier:

PDF, 5.84 MB

english, 1983

X-ray topographic study of potassium bichromate crystals; Effect of the growth temperature on the crystalline quality

F. Lefaucheux, M.C. Robert, K. Sangwal

Journal:

Journal of Crystal Growth

Année:

1984

Langue:

english

Fichier:

PDF, 1.03 MB

english, 1984

Growth and characterization of gypsum crystals

C. Rinaudo, M.C. Robert, F. Lefaucheux

Journal:

Journal of Crystal Growth

Année:

1985

Langue:

english

Fichier:

PDF, 326 KB

english, 1985

X-ray topographic study of KH2PO4 crystals grown from boiling solutions

S.Veintemillas Verdaguer, F. Lefaucheux, M.C. Robert

Journal:

Journal of Crystal Growth

Année:

1987

Langue:

english

Fichier:

PDF, 1.35 MB

english, 1987

Nucleation in confined space: Application to the crystallization in gels

Pascal Andreazza, Françoise Lefaucheux, Boyan Mutaftschiev

Journal:

Journal of Crystal Growth

Année:

1988

Langue:

english

Fichier:

PDF, 658 KB

english, 1988

A comparative study of gel grown and space grown lead hydrogen phosphate crystals

M.C. Robert, F. Lefaucheux, B. Jannot, G. Godefroy, E. Garnier

Journal:

Journal of Crystal Growth

Année:

1988

Langue:

english

Fichier:

PDF, 1.02 MB

english, 1988

Critical remarks about lead phosphate crystal structure determination

M.C. Robert, F. Lefaucheux

Journal:

Journal of Crystal Growth

Année:

1989

Langue:

english

Fichier:

PDF, 102 KB

english, 1989

Small angle neutron scattering study of lysozyme solutions

F. Boué, F. Lefaucheux, M.C. Robert, I. Rosenman

Journal:

Journal of Crystal Growth

Année:

1993

Langue:

english

Fichier:

PDF, 668 KB

english, 1993

Gel growth of 2-amino-5-nitropyridinium dihydrogen phosphate organomineral crystals: X-ray and nonlinear optics characterization

N. Horiuchi, F. Lefaucheux, M.C. Robert, D. Josse, S. Khodja, J. Zyss

Journal:

Journal of Crystal Growth

Année:

1995

Langue:

english

Fichier:

PDF, 601 KB

english, 1995

Gel growth of 2-amino-5-nitropyridinium dihydrogen phosphate crystals followed by holographic interferometry

F. Lefaucheux, Y. Bernard, C. Vennin, M.C. Robert

Journal:

Journal of Crystal Growth

Année:

1996

Langue:

english

Fichier:

PDF, 730 KB

english, 1996

Time evolution of refractive index of gelled and gel-free supersaturated lysozyme solutions

O. Vidal, Y. Bernard, M.C. Robert, F. Lefaucheux

Journal:

Journal of Crystal Growth

Année:

1996

Langue:

english

Fichier:

PDF, 225 KB

english, 1996

The passivation layer formation in the cryo-etching plasma process

R. Dussart, X. Mellhaoui, T. Tillocher, P. Lefaucheux, M. Boufnichel, P. Ranson

Journal:

Microelectronic Engineering

Année:

2007

Langue:

english

Fichier:

PDF, 599 KB

english, 2007

Gel growth followed by holographic interferometry case of ADP crystals grown by T-decrease

F. Lefaucheux, M.C. Robert, Y. Bernard

Journal:

Journal of Crystal Growth

Année:

1988

Langue:

english

Fichier:

PDF, 1010 KB

english, 1988

Survey of optical diagnosis dedicated to fluid physics and materials science

F. Gonzalez, C. Faure, F. Lefaucheux

Journal:

Acta Astronautica

Année:

1997

Langue:

english

Fichier:

PDF, 1.09 MB

english, 1997

An organic–inorganic crystal for blue SHG: crystal growth and quadratic optical effect of 2-amino-5-nitropyridinium chloride

N Horiuchi, F Lefaucheux, A Ibanez, D Josse, J Zyss

Journal:

Optical Materials

Année:

1999

Langue:

english

Fichier:

PDF, 473 KB

english, 1999